Өнімге ұсыныс | Үш толқынды ахроматикалық F-тета линзасы
Стандартты лазерлік сканерлеу линзалары әдетте бір толқын ұзындығына арналған — басқа лазерге ауысу фокустың ығысуына, бұлыңғыр дақтарға және бұлыңғыр белгілерге әкеледі. Қос жолақты сканерлеу линзалары тек екі толқын ұзындығы арасындағы хроматикалық аберрацияны түзете алады.
3 толқын ұзындығындағы ахроматикалық сканерлеу линзасы - үш түрлі лазерлік толқын ұзындығы үшін хроматикалық аберрацияны бір уақытта жоятын мамандандырылған сканерлеу фокустау линзасы. Барлық үш толқын ұзындығы бірдей оптикалық жиынтықты пайдаланады; процестер арасында ауысу үшін линзаны бөлшектеу немесе қайта фокустау қажет емес, лазер көзін ауыстыру жеткілікті. Бұл оны көп процессті композиттік өңдеу жүйелері үшін өте қолайлы етеді.
Өнеркәсіптік толқын ұзындығының ең көп таралған үйлесімі: 355 нм (УК), 532 нм (жасыл) және 1064 нм (ИК).
Негізгі оптикалық өнімділіктің артықшылықтары
1. Дақ сапасын тұрақты түрде сақтай отырып, үш толқынды парфокальды туралау
355/532/1064 нм үшін бір мезгілде хроматикалық аберрацияны түзету (немесе арнайы RGB, UV-VIS-SWIR жолақ комбинациялары). Барлық үш толқын ұзындығының фокальды жазықтықтары сәйкес келеді, бұл бүкіл сканерлеу өрісі бойынша нүктенің біркелкі дөңгелектенуін қамтамасыз етеді, осьтік дефокустау немесе шеткі хроматикалық бұрмалану болмайды.
2. Минималды позициялау қателігі бар композиттік өңдеуге арналған жоғары дәлдік
Хроматикалық аберрациядан басқа, өріс қисығы, бұрмалау, сфералық аберрация және кома да оңтайландырылған. Жоғары сызықтық f-тета сканерлеу дәлдігі дайындаманың нақты талаптарына негізделген толқын ұзындығын таңдауға мүмкіндік береді. Бөлшектерді көп толқынды композиттік өңдеу жалпы өңдеу дәлдігін айтарлықтай жақсартады.
3. Төмен өріс қисығы және тамаша толық өріс нүктелерінің біркелкілігі
Қолдану сценарийлері
Фоторезист сияқты органикалық материалдарды кетіруге арналған 343 нм; пассивация қабаттарынан металл немесе полисиликонды кетіруге арналған 515 нм; және пассивация қабаттарынан ITO-ны кетіруге арналған 1030 нм. Панель дисплейін жөндеу және тексеру қолданбалары үшін өте қолайлы.
Өнім параметрлері：
| Толқын ұзындығы | 1030 нм және 515 нм және 343 нм |
| Кіріс сәулесінің диаметрі | 10 мм |
| Тиімді фокустық қашықтық (EFL) | 250 мм |
| Фокус нүктесінің өлшемі | 46,94–46,97 мкм @ 1030 нм23,62–23,76 мкм @ 515 нм15,69–16,37 мкм @ 343 нм |
| Сканерлеу өрісі | 17×17 мм |
| Жұмыс қашықтығы (ЖҚ) | 224,5 мм |
| Линзаның жалпы ұзындығы | 46 мм |
| Линзаның сыртқы диаметрі | Φ82 мм |
| Өріс қисығы | <0,1 мм |
| Бұрмалау | <0,1% |
Нақты талаптарға сәйкес жеке дизайн қолжетімді.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 8 шілде